디지털 정전 모니터

 디지털 정전 모니터 

 

 

제전 성능과 이온 밸런스를 정전 모니터가 진단합니다.
미터는 제전 공정에서 제 전기 성능과 제전 장치에서 발생하는 이온의 균형 (제전 균형)을 감지합니다.
제 전기는 정기적으로 제전 전극 성능을 확인하고 전극 침의 오염 등에 의한 제전 성능의 저하 및 제전 균형을 감지하여 효율적으로 확실한 제전을 할 수 있습니다. 특히 반도체에서 사용되는 제 전기의 경우는 균형 않은 상태에서는 반대로 대전이 장치를 반대로 정전기하고 파괴하는 것입니다.

 

■ 제 전기 성능 시험 방법
● 전원 스위치를 "ON"으로하고 본체 판넬의 스위치 M을 눌러 대전 판 모의 대전시킵니다.
● 전압 ± 1000V를 표시하는 것을 확인하고 그대로 대전 판을 제전 전극을 향해서 전압 표시가 떨어지는 것을 확인
합니다.
● 측정 범위는 지향성 180도 측정 거리 50mm입니다.

■ 특징
● 대전 용 직류 전원이 내장되어 있으며, 대전 판에 그 자리에서 대전시키고 제 전기의 성능을 확인할 수 있습니다.
● 소형 경량으로 좁은 장소에서의 제 전성을 확인하는 데 적합합니다.
● 제 전기의 제전 잔액을 확인하고 제전 성능을 수치로 관리 할 수 있습니다.

■ 각부의 명칭

	① 표시부
	② 대전 판
	③M 버튼 [대전]
	④ 극성 전환 [+]
	⑤ 전압 조정
	⑥OUT / GND
	⑦ 전원 ON / OFF]

■ 사양

대전 교정 전원	본체 내장 (약 ± 1000V) 가변 과전류 보호 부 (0.5μA 이하)
대전 판	알루미늄 판 (75mm × 25mm × 2mm) · 정전 용량 8pF (± 2pF)
아날로그 출력	0 ~ ± 100mV
전원	단 4 알칼리 건전지 1.5V × 2 (연속 사용 3H)
접지선	컬 코드
환경	0 ~ 40 ℃ 65 % RH 이하
본체 크기	130mm × 70mm × 20mm
질량	약 170g (배터리 세트)
옵션	기록계 연결 케이블