환원성 플라즈마 클리너 Plasma 청소기 "

환원성 플라즈마 클리너 청소기

금속 산화막의 안전한 환원 세정을 실현! 수증기를 이용한 플라즈마 처리 장치

 Plasma 청소기 '는 주로 수증기를 이용한
플라즈마 처리 장치입니다.

금속 산화물의 환원 유기 오염 세척, 포토 레지스트 앗싱,
친 수화 등의 표면 처리를 안전하고 효율적으로 할 수 있습니다.

실버 전극, 구리 전극의 환원 개질, 세정 및 기타 금속 산화물의 환원,
수지의 표면 개질 친 수화, 앗싱 등에 응용 가능합니다.

【특징】
■ 금속 산화막의 안전한 환원 세정을 실현
■ 산소의 첨가에 의해 세정 속도의 고속화가 가능
■ 수증기 생성 공급량 자동 제어 시스템을 내장
■ 전용 설계로 설치 면적을 종래의 60 % 감소
■ 다단 처리에 대응 (최대 3 단)